光刻机光纤测温哪家最好-荧光式光纤温度传感器

荧光式光纤温度传感器具有极长的寿命和稳定可靠的工作特性，非常适合于大规模工业化批量生产，从而迅速实现工业领域的广泛应用。荧光光纤温度传感器是由多模光纤和在其顶部安装的荧光物体(膜)组成。荧光物质在受到一定波长(受激谱)的光激励后，受激辐射出荧光能量。激励撤消后，荧光余晖的持续性取决于荧光物质特性、环境温度等因素。这种受激发荧光通常是按指数方式衰减的，称衰减的时间常数为荧光寿命或荧光余晖时间。在不同的环境温度下，荧光余晖衰减也不同。因此通过测量荧光余晖寿命的长短，就可以得知当时的环境温度。在强电磁场下，用常规温度传感器(如热电偶、热电阻等)测量时，金属材料制作的测量探头及导线在高频电磁场下产生感应电流，由于集肤效应和涡流效应，使其自身温度升高，对温度测量造成严重干扰，使温度示值产生很大误差或者无法进行稳定的温度测量。荧光光纤温度传感技术目前已经成熟，已经实现大规模工业化生产及应用，成本快速下降，其在强电磁场环境测量领域优势明显。

光刻机作为集成电路制造过程中的核心设备,其发展状况一定程度上决定集成电路的发展程度,研发出更高光刻分辨率、更高产率、更精密套刻精度的光刻机一直是世界各国微电子装备行业不断追求的目标。光刻机性能的不断提高,是由软件、控制、曝光、工件台、微环境等十多个分系统的共同发展所决定的,其中对光刻机内部和投影物镜温度的控制就是其中一项非常重要的需求指标,精密温度控制装置就是用来控制光刻机这项重要指标的设备。而光刻机工作环境下，温度稳定是保证整机系统精度的关键条件，而高精度的温度测量是控制温度稳定的前提，与稳定性有直接的关系。